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화학물질정보검색

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MSDS검색

산업안전보건법 제110조 및 111조에 의거 유통되는 화학물질 및 화학물질을 함유한 제제의 물질안전보건자료(MSDS)는 해당 물질을 양도하거나 제공(제조·수입·판매자(도·소매업자))하는 자로부터 제공 받으셔야 합니다.
안전보건공단에서 제공되는 MSDS는 MSDS 작성과 검토 시 참고용으로만 활용이 가능하며, 이로 인하여 발생되는 법적인 문제는 공단에 책임을 물을 수 없습니다.
아울러, 공단의 MSDS는 상업적 용도 등의 외부적인 용도로 사용하는 경우 저작권법 등 관련법규에 위배될 수 있음을 알려드립니다.

MSDS 상세정보

Trichlorosilane

CAS No :
10025-78-2 
UN No :
1295 
KE No :
KE-34099 
EU No :
233-042-5 
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1. 화학제품과 회사에 관한 정보

  • 가. 제품명
    Trichlorosilane
  • 나. 제품의 권고 용도와 사용상의 제한
    제품의 권고 용도
    트랜지스터 제조; 유기 합성; 반도체 제조에서 광택 실리콘 와퍼가 되는 고순도 다결정 실리콘 제조용 원료
    제품의 사용상의 제한
    자료없음
  • 다. 공급자 정보(수입품의 경우 긴급 연락 가능한 국내 공급자 정보 기재)
    회사명
    자료없음
    주소
    자료없음
    긴급전화번호
    자료없음
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2. 유해성·위험성

  • 가. 유해성·위험성 분류
    인화성 액체 : 구분1
    물반응성 물질 및 혼합물 : 구분1
    급성 독성(경구) : 구분4
    급성 독성(흡입: 증기) : 구분2
    피부 부식성/피부 자극성 : 구분1
  • 나. 예방조치문구를 포함한 경고표지 항목
    그림문자
    그림문자 그림문자 그림문자
    신호어
    위험
    유해·위험문구
    H224 : 극인화성 액체 및 증기
    H260 : 물과 접촉 시 자연발화 가능성이 있는 인화성 가스를 발생시킴
    H302 : 삼키면 유해함
    H314 : 피부에 심한 화상과 눈에 손상을 일으킴
    H330 : 흡입하면 치명적임
    예방조치문구
    예방
    P210 : 열,고온의 표면,스파크,화염 및 그 밖의 점화원으로부터 멀리하시오.금연
    P223 : 물에 접촉시키지 마시오.
    P231+P232 : 불활성 기체/…하에서 취급 및 저장하시오. 습기를 방지하시오.
    P233 : 용기를 단단히 밀폐하시오.
    P240 : 용기와 수용설비를 접지하시오.
    P241 : 방폭형[전기/환기/조명/…]설비를 사용하시오.
    P242 : 스파크가 발생하지 않는 도구를 사용하시오.
    P243 : 정전기 방지 조치를 취하시오.
    P260 : 분진/흄/가스/미스트/증기/스프레이를(을)흡입하지 마시오.
    P264 : 취급 후에는…을(를)철저히 씻으시오.
    P270 : 이 제품을 사용할 때에는 먹거나,마시거나 흡연하지 마시오.
    P271 : 옥외 또는 환기가 잘 되는 곳에서만 취급하시오.
    P280 : 보호장갑/보호의/보안경/안면보호구를(을)착용하시오.
    P284 : [환기가 잘 되지 않는 경우]호흡기 보호구를 착용하시오.
    대응
    P301+P312 : 삼켰다면:불편함을 느끼면 의료기관/의사/…의 진찰을 받으시오.
    P301+P330+P331 : 삼켰다면:입을 씻어내시오.토하게 하지 마시오.
    P302+P335+P334 : 피부에 묻으면:피부에 묻은 물질을 털어내시오.차가운 물에 담그시오[또는 젖은 붕대로 감싸시오].
    P303+P361+P353 : 피부(또는 머리카락)에 묻으면:오염된 모든 의류를 즉시 벗으시오.피부를 물로 씻으시오[또는 샤워하시오].
    P304+P340 : 흡입하면:신선한 공기가 있는 곳으로 옮기고 호흡하기 쉬운 자세로 안정을 취하시오.
    P305+P351+P338 : 눈에 묻으면:몇 분간 물로 조심해서 씻으시오.가능하면 콘택트렌즈를 제거하시오.계속 씻으시오.
    P310 : 즉시 의료기관/의사/…의 진찰을 받으시오.
    P320 : 긴급히…처치를 하시오.
    P321 : …처치를 하시오.
    P330 : 입을 씻어내시오.
    P363 : 다시 사용 전 오염된 의류를 세척하시오.
    P370+P378 : 화재 시:불을 끄기 위해…을(를)사용하시오.
    저장
    P402+P404 : 건조한 장소에 보관하시오.밀폐된 용기에 보관하시오.
    P403+P233 : 환기가 잘 되는 곳에 보관하시오.용기를 단단히 밀폐하시오.
    P403+P235 : 환기가 잘 되는 곳에 보관하시오.저온으로 유지하시오.
    P405 : 잠금장치를 하여 저장하시오.
    폐기
    P501 : 폐기물 관련 법령에 따라 내용물/용기를 폐기하시오
  • 다. 유해성·위험성 분류기준에 포함되지 않는 기타 유해성·위험성(예. 분진폭발 위험성)
    자료없음
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3. 구성성분의 명칭 및 함유량

물질명 Trichlorosilane
이명(관용명) 트라이클로로실레인
트라이클로로실레인
CAS 번호 10025-78-2
함유량(%) 100%
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4. 응급조치요령

  • 가. 눈에 들어갔을 때
    긴급 의료조치를 받으시오
    접촉시 피부에 뭍은 물질을 즉시 닦아내고 흐르는 물에 피부와 눈을 적어도 20분간 씻어내시오
  • 나. 피부에 접촉했을 때
    피부에 묻으면:피부에 묻은 물질을 털어내시오.차가운 물에 담그시오[또는 젖은 붕대로 감싸시오].
    피부(또는 머리카락)에 묻으면:오염된 모든 의류를 즉시 벗으시오.피부를 물로 씻으시오[또는 샤워하시오].
    뜨거운 물질인 경우, 열을 없애기 위해 영향을 받은 부위를 다량의 차가운 물에 담그거나 씻어내시오
    긴급 의료조치를 받으시오
    오염된 옷과 신발을 제거하고 오염지역을 격리하시오
  • 다. 흡입했을 때
    즉시 의료기관/의사/…의 진찰을 받으시오.
    과량의 먼지 또는 흄에 노출된 경우 깨끗한 공기로 제거하고 기침이나 다른 증상이 있을 경우 의료 조치를 취하시오.
  • 라. 먹었을 때
    삼켰다면:불편함을 느끼면 의료기관/의사/…의 진찰을 받으시오.
    입을 씻어내시오.
    물질을 먹거나 흡입하였을 경우 구강대구강법으로 인공호흡을 하지 말고 적절한 호흡의료장비를 이용하시오
  • 마. 기타 의사의 주의사항
    의료인력이 해당물질에 대해 인지하고 보호조치를 취하도록 하시오
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5. 폭발·화재시 대처방법

  • 가. 적절한(부적절한) 소화제
    물 또는 폼(foam)을 사용하지 마시오. [소형 화재] 분말소화약제, 소다회, 석회 또는 마른 모래 [대형 화재] 마른 모래, 분말소화약제, 소다회, 또는 석회를 사용하거나, 그냥 타도록 내버려 두고 화재지역에서 철수하시오. 안전하다면 손상되지 않은 용기를 화재지역으로부터 옮기시오. [금속 또는 분말(알루미늄, 마그네슘 등) 화재] 분말소화약제, 마른 모래, 염화나트륨 분말, 흑연 분말 또는 D급 화재에 적응성 있는 소화제를 사용하시오.
  • 나. 화학물질로부터 생기는 특정 유해성
    극인화성 액체 및 증기
    물과 접촉 시 자연발화 가능성이 있는 인화성 가스를 발생시킴
    격렬하게 중합반응하여 화재와 폭발을 일으킬 수 있음
    증기는 점화원에 옮겨져 발화될 수 있음
    인화점이나 그 이상에서 폭발성 혼합물을 형성할 수 있음
    가열시 용기가 폭발할 수 있음
    누출물은 화재/폭발 위험이 있음
    소화 후에도 재점화할 수 있음
    열, 스파크, 화염에 의해 점화할 수 있음
    물 또는 습한 공기와 접촉시 점화할 수 있음
    물과 접촉시 가연성/독성 가스를 발생함
    증기, 물질, 분해생성물의 흡입 및 접촉은 심각한 상해나 사망을 초래할 수 있음
    물과 접촉하여 부식성 용액을 생성할 수 있음
    고독성: 물과 접촉시 독성 가스 생성하여 흡입시 치명적일 수 있음
  • 다. 화재진압시 착용할 보호구 및 예방조치
    구조자는 적절한 보호구를 착용하시오.
    지역을 벗어나 안전거리를 유지하여 소화하시오
    일부는 고인화성 액체에 운반되므로 주의하시오
    위험하지 않다면 화재지역에서 용기를 옮기시오
    탱크 화재시 최대거리에서 소화하거나 무인 소화장비를 이용하시오
    용기 내부에 물이 들어가지 않도록 하시오
    탱크 화재시 소화가 진화된 후에도 다량의 물로 용기를 식히시오
    탱크 화재시 압력 방출장치에서 고음이 있거나 탱크가 변색할 경우 즉시 물러나시오
    탱크 화재시 화염에 휩싸인 탱크에서 물러나시오
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6. 누출사고시 대처방법

  • 가. 인체를 보호하기 위해 필요한 조치사항 및 보호구
    분진/흄/가스/미스트/증기/스프레이를(을)흡입하지 마시오.
    매우 미세한 입자는 화재나 폭발을 일으킬 수 있으므로 모든 점화원을 제거하시오.
    엎질러진 것을 즉시 닦아내고, 보호구 항의 예방조치를 따르시오.
    오염 지역을 격리하시오.
    들어갈 필요가 없거나 보호장비를 갖추지 않은 사람은 출입하지 마시오.
    모든 점화원을 제거하시오
    물분무로 증기를 줄이되 누출물이나 용기에 물이 들어가지 않도록 하시오
    물분무를 이용하여 증기를 줄이거나 증기구름을 흩뜨려서 물이 누출물과 접촉되지 않도록 하시오
    위험하지 않다면 누출을 멈추시오
    전문가의 감독없이 청소 및 처리를 하지 마시오
    화재가 없는 누출시 전면보호형 증기 보호의를 착용하시오
    피해야할 물질 및 조건에 유의하시오
  • 나. 환경을 보호하기 위해 필요한 조치사항
    누출물은 오염을 유발할 수 있음
  • 다. 정화 또는 제거 방법
    소화를 위해 제방을 쌓고 물을 수거하시오.
    불활성 물질(예를 들어 건조한 모래 또는 흙)로 엎지른 것을 흡수하고, 화학폐기물 용기에 넣으시오.
    공기성 먼지를 제거하고 물로 습윤화하여 흩어지는 것을 막으시오.
    액체를 흡수하고 오염된 지역을 세제와 물로 씻어 내시오.
    건조모래/흙, 기타 비가연성 물질로 덮은 뒤 확산 및 비와의 접촉을 막기 위해 플라스틱 시트로 덮으시오
    도랑을 파고 지시가 있지 않으면 물을 뿌리지 마시오
    분말 누출시 플라스틱 시트로 덮어 확산을 막고 건조한 상태로 유지하시오
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7. 취급 및 저장방법

  • 가. 안전취급요령
    물에 접촉시키지 마시오.
    불활성 기체/…하에서 취급 및 저장하시오. 습기를 방지하시오.
    용기와 수용설비를 접지하시오.
    방폭형[전기/환기/조명/…]설비를 사용하시오.
    스파크가 발생하지 않는 도구를 사용하시오.
    정전기 방지 조치를 취하시오.
    취급 후에는…을(를)철저히 씻으시오.
    이 제품을 사용할 때에는 먹거나,마시거나 흡연하지 마시오.
    옥외 또는 환기가 잘 되는 곳에서만 취급하시오.
    압력을 가하거나, 자르거나, 용접, 납땜, 접합, 뚫기, 연마 또는 열에 폭로, 화염, 불꽃, 정전기 또는 다른 점화원에 폭로하지 마시오.
    용기가 비워진 후에도 제품 찌꺼기가 남아 있을 수 있으므로 모든 MSDS/라벨 예방조치를 따르시오.
    취급/저장에 주의하여 사용하시오.
    개봉 전에 조심스럽게 마개를 여시오.
    피해야할 물질 및 조건에 유의하시오
    공학적 관리 및 개인보호구를 참조하여 작업하시오
  • 나. 안전한 저장방법
    열,고온의 표면,스파크,화염 및 그 밖의 점화원으로부터 멀리하시오.금연
    불활성 기체/…하에서 취급 및 저장하시오. 습기를 방지하시오.
    건조한 장소에 보관하시오.밀폐된 용기에 보관하시오.
    환기가 잘 되는 곳에 보관하시오.용기를 단단히 밀폐하시오.
    환기가 잘 되는 곳에 보관하시오.저온으로 유지하시오.
    빈 드럼통은 완전히 배수하고 적절히 막아 즉시 드럼 조절기에 되돌려 놓거나 적절히 배치하시오.
    음식과 음료수로부터 멀리하시오.
    피해야할 물질 및 조건에 유의하시오
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8. 노출방지 및 개인보호구

  • 가. 화학물질의 노출기준, 생물학적 노출기준 등
    국내규정
    자료없음
    ACGIH 규정
    생물학적 노출기준
    자료없음
    기타 노출기준
    자료없음
  • 나. 적절한 공학적 관리
    공정격리, 국소배기를 사용하거나, 공기수준을 노출기준 이하로 조절하는 다른 공학적 관리를 하시오.
    운전시 먼지, 흄 또는 미스트를 발생하는 경우, 공기 오염이 노출기준 이하로 유지되도록 환기하시오
    이 물질을 저장하거나 사용하는 설비는 세안설비와 안전 샤워를 설치하시오.
  • 다. 개인보호구
    자료없음
    호흡기 보호
    노출되는 기체/액체의 물리화학적 특성에 맞는 산업안전보건공단의 인증을 필한 호흡용 보호구를 착용하시오
    기체/액체 물질의 경우 다음과 같은 호흡기 보호구가 권고됨 -격리식 전면형 방독마스크(유기화합물용(산성가스인 경우 산성가스용)) 또는 격리식 반면형 방독마스크(유기화합물용(산성가스인 경우 산성가스용)) 또는 직결식 전면형 방독 마스크(유기화합물용(산성가스인 경우 산성가스용)) 또는 반면형 방독 마스크(유기화합물용(산성가스인 경우 산성가스용)) 또는 전동식 방독마스크
    산소가 부족한 경우(<19.5%), 송기마스크 혹은 자급식공기호흡기를 착용하시오
    눈 보호
    눈의 자극을 일으키거나 기타 건강상의 장해를 일으키는 증기상태의 유기물질로부터 눈을 보호하기 위해서는 보안경 혹은 통기성 보안경을 착용하시오
    근로자가 접근이 용이한 위치에 긴급세척시설(샤워식) 및 세안설비를 설치하시오
    손 보호
    화학물질의 물리적 및 화학적 특성을 고려하여 적절한 재질의 보호장갑을 착용하시오
    신체 보호
    화학물질의 물리적 및 화학적 특성을 고려하여 적절한 재질의 보호의복을 착용하시오
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9. 물리화학적 특성

  • 가. 외관
    자료없음
    성상
    액체(휘발성 발연 액체)
    ※출처 : ICSC
    색상
    무색
    ※출처 : ICSC
  • 나. 냄새
    자극적인 냄새
  • 다. 냄새역치
    자료없음
  • 라. pH
    (용액에서 산성)
  • 마. 녹는점/어는점
    -127 ℃
    ※출처 : ICSC
  • 바. 초기 끓는점과 끓는점 범위
    32 ℃
    ※출처 : ICSC
  • 사. 인화점
    -27 ℃((c.c.))
    ※출처 : ICSC
  • 아. 증발속도
    자료없음
  • 자. 인화성(고체, 기체)
    자료없음
  • 차. 인화 또는 폭발 범위의 상한/하한
    90.5 / 1.2 %
    ※출처 : ICSC
  • 카. 증기압
    594 ㎜Hg (25 C)
    ※출처 : HSDB
  • 타. 용해도
    (반응함)
    ※출처 : ICSC
  • 파. 증기밀도
    4.7 (공기=1)
  • 하. 비중
    1.34 (물=1)
    ※출처 : ICSC
  • 거. n-옥탄올/물분배계수 (Kow)
    1.46 (추정치)(Log Kow)
    ※출처 : NLM
  • 너. 자연발화온도
    185 ℃
    ※출처 : ICSC
  • 더. 분해온도
    자료없음
  • 러. 점도
    0.316 cP ( 25 C)
  • 머. 분자량
    135.45
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10. 안정성 및 반응성

  • 가. 화학적 안정성 및 유해 반응의 가능성
    극인화성 액체 및 증기
    물과 접촉 시 자연발화 가능성이 있는 인화성 가스를 발생시킴
    물에 접촉시키지 마시오.
    격렬하게 중합반응하여 화재와 폭발을 일으킬 수 있음
    물과 격렬히 반응하여 폭발가능한 인화성가스를 발생시킴
    인화점이나 그 이상에서 폭발성 혼합물을 형성할 수 있음
    가열시 용기가 폭발할 수 있음
    누출물은 화재/폭발 위험이 있음
    소화 후에도 재점화할 수 있음
    열, 스파크, 화염에 의해 점화할 수 있음
    일부는 물과 격렬히 반응함
    물 또는 습한 공기와 접촉시 점화할 수 있음
    물과 접촉시 가연성/독성 가스를 발생함
    증기, 물질, 분해생성물의 흡입 및 접촉은 심각한 상해나 사망을 초래할 수 있음
    물과 접촉하여 부식성 용액을 생성할 수 있음
    고독성: 물과 접촉시 독성 가스 생성하여 흡입시 치명적일 수 있음
  • 나. 피해야 할 조건
    열,고온의 표면,스파크,화염 및 그 밖의 점화원으로부터 멀리하시오.금연
    습기
  • 다. 피해야 할 물질
    격렬한 반응 및 화재의 가능성이 있으므로 물과 접촉하지 않게 하시오.
    불활성 기체 하에서 취급하고, 습기를 방지하시오.
    물
  • 라. 분해시 생성되는 유해물질
    자극성, 부식성, 독성 가스
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11. 독성에 관한 정보

  • 가. 가능성이 높은 노출 경로에 관한 정보
    자료없음
  • 나. 건강 유해성 정보
    급성독성
    경구
    LD50 1030 ㎎/㎏ 실험종 : Rat
    ※출처 : IUCLID, NLM, TOMES
    경피
    자료없음
    흡입
    증기 LC50 1500 ㎎/㎥ 2 hr 실험종 : Rat (191.8ppm/4H [해당 물질의 포화 증기 농도의 90%미만으로 가스 기준값 적용])
    ※출처 : RTECS (2006)
    피부부식성 또는 자극성
    피부 부식성 물질임(빠르게 가수분해되어 HCl을 생성함) ※ 출처 : 화학물질정보처리시스템(정보요약서)
    심한 눈손상 또는 자극성
    자료없음
    호흡기과민성
    자료없음
    피부과민성
    자료없음
    발암성
    산업안전보건법
    자료없음
    고용노동부고시
    자료없음
    IARC
    자료없음
    OSHA
    자료없음
    ACGIH
    자료없음
    NTP
    자료없음
    EU CLP
    자료없음
    환경부
    자료없음
    NITE
    자료없음
    생식세포변이원성
    type:Ames test 결과:negative;음성반응(IUCLID)
    ※출처 : IUCLID)
    생식독성
    자료없음
    특정 표적장기 독성 (1회 노출)
    자료없음
    특정 표적장기 독성 (반복 노출)
    자료없음
    흡인유해성
    자료없음
    기타 유해성 영향
    자료없음
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12. 환경에 미치는 영향

  • 가. 생태독성
    어류
    LC50 323.137 ㎎/ℓ 96 hr
    ※출처 : ECOSAR
    갑각류
    LC50 333.570 ㎎/ℓ 48 hr
    ※출처 : ECOSAR
    조류
    LC50 202.156 ㎎/ℓ 96 hr
    ※출처 : ECOSAR
  • 나. 잔류성 및 분해성
    잔류성
    1.46 log Kow (추정치)
    ※출처 : NLM
    분해성
    자료없음
  • 다. 생물농축성
    농축성
    자료없음
    생분해성
    (물에서 HCL로 가수분해됨)
    ※출처 : HSDB
  • 라. 토양이동성
    자료없음
  • 마. 기타 유해 영향
    자료없음
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13. 폐기시 주의사항

  • 가. 폐기방법
    폐기물관리법에 명시된 경우 규정에 따라 내용물 및 용기를 폐기하시오.
  • 나. 폐기시 주의사항
    폐기물 관련 법령에 따라 내용물/용기를 폐기하시오
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14. 운송에 필요한 정보

  • 가. 유엔번호(UN No.)
    1295
  • 나. 적정선적명
    트리클로로 실란(TRICHLOROSILANE)
  • 다. 운송에서의 위험성 등급
    3
  • 라. 용기등급
    1
  • 마. 해양오염물질
    자료없음
  • 바. 사용자가 운송 또는 운송수단에 관련해 알 필요가 있거나 필요한 특별한 안전대책
    화재시 비상조치
    F-G
    유출시 비상조치
    S-O
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15. 법적 규제현황

  • 가.  산업안전보건법에 의한 규제
    공정안전보고서(PSM) 제출 대상물질
  • 나. 화학물질관리법에 의한 규제
    사고대비물질
    인체급성유해성물질
  • 다. 화학물질의 등록 및 평가 등에 관한 법률 규제
    기존화학물질
    인체급성유해성물질
  • 라.  위험물안전관리법에 의한 규제
    제3류 7. 유기금속화합물 (50㎏)
  • 마.  폐기물관리법에 의한 규제
    지정폐기물
  • 바.  기타 국내 및 외국법에 의한 규제
    국내규제
    해당없음
    기타 국내 규제
    해당없음
    국외규제
    미국관리정보(OSHA 규정)
    2267.995 kg (5000 lb)
    미국관리정보(CERCLA 규정)
    해당없음
    미국관리정보(EPCRA 302 규정)
    해당없음
    미국관리정보(EPCRA 304 규정)
    해당없음
    미국관리정보(EPCRA 313 규정)
    해당없음
    미국관리정보(로테르담협약물질)
    해당없음
    미국관리정보(스톡홀름협약물질)
    해당없음
    미국관리정보(몬트리올의정서물질)
    해당없음
    EU 분류정보(확정분류결과)
    F+; R12 R14 F; R17 Xn; R20/22 R29 C; R35
    EU 분류정보(위험문구)
    R12, R14, R17, R20/22, R29, R35
    EU 분류정보(안전문구)
    S2, S7/9, S16, S26, S36/37/39, S43, S45
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16. 그 밖의 참고사항

  • 가. 자료의 출처
    ECOSAR(갑각류)
    ECOSAR(어류)
    ECOSAR(조류)
    HSDB(생분해성)
    HSDB(증기압)
    ICSC(녹는점/어는점)
    ICSC(비중)
    ICSC(색상)
    ICSC(성상)
    ICSC(용해도)
    ICSC(인화 또는 폭발 범위의 상한/하한)
    ICSC(인화점)
    ICSC(자연발화온도)
    ICSC(초기 끓는점과 끓는점 범위)
    IUCLID) (생식세포변이원성)
    IUCLID, NLM, TOMES(경구)
    NLM (n-옥탄올/물분배계수 (Kow))
    NLM(잔류성)
    RTECS (2006)(흡입)
  • 나. 최초작성일자
    2008-12-29
  • 다. 개정횟수 및 최종 개정일자
    개정횟수
    자료없음
    최종 개정일자
    2026-05-18
  • 라. 기타
    자료없음
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제2유형
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